气相沉积炉整体结构采用井式碳化炉结构。主要由炉体系统、控制系统、真空系统、冷却系统、进气系统、过滤系统、操作平台等部分组成组成。 　　气相沉积炉系统主要由炉盖、炉体、炉底、保温层、发热体、引电体组成，炉壳为圆柱形结构，分炉体和炉顶盖、炉底三部分，主要使用Q235钢材，炉体、炉盖、炉底均为夹层水冷结构，夹层内设置蛇形导流板，既可以引导水流流向又可以加强炉体壁抗压能力，炉体上设置电极座、测温座。抽气口位于炉顶盖或炉体侧壁上。 　　加热及保温层，发热体采用带式合金发热体，分三个加热区，三角形加热，分布在炉腔四周;保温层：采用全纤维炉衬复合保温结构，既可以让炉膛整洁成型又可以保持良好的保温性能，成型后的保温层分别固定在炉壁、炉盖上，操作与维护非常方便。 　　气相沉积炉的炉胆采用高温耐热钢，为保证高温真空下的工作强度，采用双真空结构。炉胆内外同时抽真空，并设置手动及自动压差阀。考虑真空放电现象，采用低电压大电流的供电方式。

　　真空熔炼炉是由内部的热源发热，温度是由里向外传递的，其强度的大小将会直接影响到真空炉内温度的分布情况。依据温度场散布方程可知，内热式真空冶炼炉整个温度场的散布，首要取决于几个方面的束缚。即资料的均匀导热系数入，资料的均匀密度P和均匀比热熔c。 　　影响真空熔炼炉温度向外传递的要素，包含以下3点： 　　1、炉内内热元的强度吼，在该规划中，首要选用内热源方式。真空熔炼炉内部热源发热，温度由里至外传递。其强度巨细直接影响炉内温度散布状况。当内热源吼越高时，必定点的温度越高，一起必定温差(△T)的散布区域(r)越大。所以，在实践出产过程中，能够经过操控炉芯的外表负荷亦即炉芯功率操控炉内温度散布。 　　2、反响料距炉芯的间隔(△r)，当炉芯功率必守时，即内热源的强度必守时，间隔炉芯越远的反响料，真空熔炼炉温度越低，能够无法到达反响所需温度。间隔炉芯越近，温度越高，越利于反响进行。 　　3、炉料的散热功能，炉料的散热功能越好，内部热量向外丢失越快，热量很容易就损耗在反响料之外，致使必定点的温度下降。可是若是反响料的散热功能欠好，则利于真空甩带炉热量的会聚，使得热量向外传递时刻加长，有利于反响料对热量的吸收和反响地进行，进步必定点的温度。应都在高真空条件下(4～13Pa)进行，反响温度1200℃左右，芯温度很快就能到达所需值，因而反响时刻的长短取决于反响料的厚度，即炉芯外围反响料到炉体保温层的间隔。能够经过规划炉体尺度操控供电时刻。